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Microlithography.
| 1. | Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor. | 1997-1997 | Libro |
621.38
R13 |
| 2. | Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications / edited by William B. Glendinning, John N. Helbert. | 1991 | Libro |
539.23
G485 |
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