Proceedings of the 1983 international symposium on electron, ion and photon beams.
New York : American Institute of Physics, 1983.
xix, 865-1450 págs.
Serie: Journal of Vacuum Science & Technology B. Second series ; v. 1, no. 4
Título de tapa.
Special editor for the proceedings: M. Hatzakis and T. H. P. Chang.
Incluye referencias bibliográficas e índice.