MEMS and MOEMS technology and applications
P. Rai-Choudhury, editor.
Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press, ©2000.
xi, 520 págs. : ilustraciones ; 27 cm.
ISBN: 0819437166
Incluye índice.
Incluye referencias bibliográficas.
Catálogo Bibliográfico
Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press, ©2000.
xi, 520 págs. : ilustraciones ; 27 cm.
ISBN: 0819437166
Incluye índice.
Incluye referencias bibliográficas.