Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization
Marc J. Madou.
2nd ed.
Boca Raton : CRC Press, ©2002.
723 págs. : col. il. ; 29 cm.
ISBN: 0849308267 (alk. paper)
Incluye referencias bibliográficas e índices.
Catálogo Bibliográfico
2nd ed.
Boca Raton : CRC Press, ©2002.
723 págs. : col. il. ; 29 cm.
ISBN: 0849308267 (alk. paper)
Incluye referencias bibliográficas e índices.