Proceedings of the 10th symposium on plasma science for materials : Tokyo, Japan, June 11-12, 1997
Guest editors, O. Takai ... [et al.].
Amsterdam : Elsevier, 1998.
vii, 199 págs.
Serie: Thin Solid Films, v. 316, nos. 1-2 0040-6090 ;
Incluye referencias bibliográficas e índices.