Título/responsables | Papers presented at the materials research society meeting : Symposium K : Multilevel metal process integration, San Francisco CA. USA, April 1-2, 1997 / Guest editors, G. Dixit, R. Fiordalice and R. Mosely. |
Publicación |
Amsterdam : Elsevier, 1998. |
Detalles físicos |
xiii, 884 págs. |
Colección | Thin Solid Films, ISSN 0040-6090 ; v. 320, no. 1
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Notas |
- Incluye referencias bibliográficas e índices.
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Temas |
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Nombres |
Dixit, G. Fiordalice, R. Mosely, R. |
Reunión |
Materials research society meeting Symposium K : Multilevel metal process integration (1997 : San Francisco CA. USA) |
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