Microlitography : High integration in microelectronics : proceedings of the first workshop, Rio de Janeiro, Brazil Aug 28-Sept 1, 1989

Editors, Aldo F. Craievich, G. Gerson Bezerra de Souza [y] Victor Baranauskas.

Singapore : World Scientific, 1990.

viii, 184 págs. : fig.

ISBN: 9810201370

Incluye referencias bibliográficas.