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Título/responsablesMicrolitography : High integration in microelectronics : proceedings of the first workshop, Rio de Janeiro, Brazil Aug 28-Sept 1, 1989 / Editors, Aldo F. Craievich, G. Gerson Bezerra de Souza [y] Victor Baranauskas.
Publicación Singapore : World Scientific, 1990.
Detalles físicos viii, 184 págs. : fig.
Notas
  • Incluye referencias bibliográficas.
ISBN 9810201370
Temas
Nombres Craievich, Aldo F.
Souza, G. Gerson Bezerra de
Baranauskas, Vitor
Reunión Workshop Microlitography: High integration in microelectronics (1st : 1990 : Rio de Janeiro, Brazil)
  
UBICACION
621.382:061.3 W892 1989
Registro 013365  ·  Modificado: 18/08/2022

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