Título/responsables | Microlitography : High integration in microelectronics : proceedings of the first workshop, Rio de Janeiro, Brazil Aug 28-Sept 1, 1989 / Editors, Aldo F. Craievich, G. Gerson Bezerra de Souza [y] Victor Baranauskas. |
Publicación |
Singapore : World Scientific, 1990. |
Detalles físicos |
viii, 184 págs. : fig. |
Notas |
- Incluye referencias bibliográficas.
|
ISBN |
9810201370 |
Temas |
|
Nombres |
Craievich, Aldo F.
Souza, G. Gerson Bezerra de Baranauskas, Vitor |
Reunión |
Workshop Microlitography: High integration in microelectronics (1st : 1990 : Rio de Janeiro, Brazil) |
| |
|
|