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Título/responsablesJournal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society.
Publicación New York, N.Y. : Published for the Society by the American Institute of Physics, 1983-©1990.
Detalles físicos 8 vols. : ilustraciones ; 29 cm.
Notas
  • Includes: International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams. Proceedings of the ... International Symposium on Electron, Ion, and Photon Beams; and: Molecular Beam Epitaxy Workshop. Proceedings of the ... Molecular Beam Epitaxy Workshop, also issued separately.
  • Also issued on microfilm.
  • Title from cover.
Reseña Chemical abstracts
ISSN0734-211X
Temas
Entidades American Vacuum Society.
American Institute of Physics.
  
UBICACION
HEMEROTECA 
Registro 000618  ·  Modificado: 01/12/2010

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