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Plasma.
Resultado 10 de 27
| LDR | ·····nam##22·····5a#4500 |
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| 245 | 10 | $a Dry process / $c edited by Yasuhiro Horiike ... [et al.]. |
| 260 | ## | $a Tokyo, Japan : $b JJAP, $c 1997. |
| 300 | ## | $a 2435-2567 p. |
| 520 | ## | $a "... papers presented at the 18th Dry Process Symposium (DPS´96) which was held in the Waseda Univerity International Conference Center Tokyo, November 5th to 6th, 1996 ...". -- foreword |
| 111 | 2# | $a Dry Process Symposium $n (18th : $d 1996 : $c Waseda Univerity International Conference Center Tokyo) |
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| 650 | #7 | $a Etching. $2 inist |
| 650 | #7 | $a Congresses. $2 inist |
| 650 | #7 | $a Congresos. $2 inist |
| 700 | 1# | $a Horiike, Yasuhiro, $e ed. $4 edt |
| 490 | 1# | $a Japanese Journal of Applied Physics. Part 1 : Regular papers, short notes & review papers, $v v. 36, no. 4B $x 0021-4922 ; |
| 040 | ## | $a arbccab $b spa |
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