Catálogo Bibliográfico
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Plasma.
Resultado 1 de 27
| LDR | ·····nam##22·····5a#4500 |
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| 245 | 10 | $a Recent advances in the dry process and related technologies. |
| 260 | ## | $a Tokyo, Japan : $b The Japan Society of Applied Physics, $c 2009. |
| 300 | ## | $a p. : $b il. ; $c 30 cm. |
| 490 | 1# | $a Japanese Journal of Applied Physics. ; $v v. 48 no. 8, $x 0021-4922 |
| 111 | 2# | $a International Symposium on Dry Process (DPS $d (2008) |
| 080 | ## | $a 533.924:061.3 |
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| 650 | #7 | $a Etching. $2 inist |
| 650 | #7 | $a Congresses. $2 inist |
| 650 | #7 | $a Congresos. $2 inist |
| 040 | ## | $a arbccab $b spa |
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