Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS
Pablo Guillermo del Corro.
2017.
ix, 97 págs. : ilustraciones, figuras ; 30 cm.
Director de tesis: Hernán Pastoriza.
Tesis (doctorado, Ciencias de la Ingeniería)--Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro, 2017.
Incluye referencias bibliográficas (p. 91-96).