Catálogo Bibliográfico
LDR | ·····ntm##22·····5a#4500 |
001 | 018992 |
005 | 20210219102113.0 |
008 | 191021s2017####ag#d###f#bm###001#0#spa|d |
245 | 10 | $a Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS / $c Pablo Guillermo del Corro. |
260 | ## | $c 2017. |
300 | ## | $a ix, 97 p. : $b il., figuras ; $c 30 cm. |
502 | ## | $a Tesis (doctorado, Ciencias de la Ingeniería)--Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro, 2017. |
504 | ## | $a Incluye referencias bibliográficas (p. 91-96). |
500 | ## | $a Director de tesis: Hernán Pastoriza. |
100 | 1# | $a Corro, Pablo Guillermo del. $4 dis |
700 | 1# | $a Pastoriza, Hernán. $4 ths |
710 | 2# | $a Universidad Nacional de Cuyo. $b Instituto Balseiro $4 dgg. |
653 | ## | $a Micro-electromechanical systems. |
653 | ## | $a Comb drives. |
653 | ## | $a Nano-fabrication. |
653 | ## | $a Capacitive sensing. |
653 | ## | $a Dynamics stencil. |
653 | ## | $a Thermal evaporation. |
653 | ## | $a Sistemas micro-electromecanicos. |
653 | ## | $a Nano-fabricación. |
653 | ## | $a Sensado capacitivo. |
653 | ## | $a Esténcil dinámico. |
653 | ## | $a Evaporación térmica. |
040 | ## | $a arbccab $b spa |
856 | 41 | $3 Indice. $u http://campi.cab.cnea.gov.ar/tocs/24028.pdf |
856 | 41 | $q pdf $s 15Mb $u http://ricabib.cab.cnea.gov.ar/862/ $3 Texto completo |