Corro, Pablo Guillermo del.
Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS / Pablo Guillermo del Corro.
— 2017. ix, 97 p. : il., figuras ; 30 cm.
Director de tesis: Hernán Pastoriza.
Tesis (doctorado, Ciencias de la Ingeniería)—Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro, 2017.
Incluye referencias bibliográficas (p. 91-96).
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