Título/responsables | Sistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS / Pablo Guillermo del Corro. |
Publicación |
2017. |
Detalles físicos |
ix, 97 págs. : ilustraciones, figuras ; 30 cm. |
Notas |
- Tesis (doctorado, Ciencias de la Ingeniería)—Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro, 2017.
- Director de tesis: Hernán Pastoriza.
- Incluye referencias bibliográficas (p. 91-96).
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Temas |
- Micro-electromechanical systems.
- Comb drives.
- Nano-fabrication.
- Capacitive sensing.
- Dynamics stencil.
- Thermal evaporation.
- Sistemas micro-electromecanicos.
- Nano-fabricación.
- Sensado capacitivo.
- Esténcil dinámico.
- Evaporación térmica.
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Nombres |
Corro, Pablo Guillermo del. Pastoriza, Hernán.
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Entidades |
Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro |
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