Título/responsables | Introduction to microelectromechanical systems engineering / Nadim Maluf, Kirt Williams. |
Edición |
2nd ed. |
Publicación |
Boston : Artech House, 2004. |
Detalles físicos |
xx, 283 págs. : ilustraciones ; 26 cm. |
Colección | Microelectromechanical systems series
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Notas |
- Incluye referencias bibliográficas e índice.
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ISBN |
1580535909 (alk. paper) |
Temas |
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Nombres |
Maluf, Nadim. Williams, Kirt. |
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