TK7836 .M33 2002
621.3815/2
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Madou, Marc J.
Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization / Marc J. Madou.
— 2nd ed. — Boca Raton : CRC Press, c2002. 723 p. : col. il. ; 29 cm.
Incluye referencias bibliográficas e índices.
ISBN 0849308267 (alk. paper)
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