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Micromachining.
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| 245 | 00 | $a Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication / $c P. Rai-Choudhury, editor. |
| 260 | ## | $a Bellingham, Wash., USA : $b SPIE Optical Engineering Press, $c c1997. |
| 300 | ## | $a 2 v. : $b il. ; $c 26 cm. |
| 505 | 0# | $a v. 1. Microlithography -- v. 2. Micromachining and microfabrication. |
| 504 | ## | $a Incluye referencias bibliográficas e índice. |
| 490 | 0# | $a IEE materials and devices series ; $v 12A-12B |
| 590 | ## | $a La biblioteca posee: v. 1. |
| 020 | ## | $a 0819423785 (v. 1) |
| 700 | 1# | $a Rai-Choudhury, P. $4 edt |
| 246 | 30 | $a Microlithography, micromachining, and microfabrication |
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