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Título/responsablesThe Journal of vacuum science and technology.
Publicación [New York, N.Y.] : Published for the American Vacuum Society by the American Institute of Physics, [1964-1982]
Detalles físicos 21 vols. : ilustraciones ; 28 cm.
Notas
  • Split into: Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces and films, and: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena.
  • Also issued on microfilm.
  • Title varies slightly.
  • Title from cover.
Reseña Chemical abstracts
ISSN0022-5355
Temas
Entidades American Institute of Physics.
American Vacuum Society.
  
UBICACION
HEMEROTECA 
Registro 000616  ·  Modificado: 30/11/2010

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