Microlitography : High integration in microelectronics : proceedings of the first workshop, Rio de Janeiro, Brazil Aug 28-Sept 1, 1989
Editors, Aldo F. Craievich, G. Gerson Bezerra de Souza [y] Victor Baranauskas.
Singapore : World Scientific, 1990.
viii, 184 págs. : fig.
ISBN: 9810201370
Incluye referencias bibliográficas.