Microsensors, MEMS, and smart devices
Julian W. Gardner, Vijay K. Varadan, Osama O. Awadelkarim.
Chichester ; New York : J. Wiley, ©2001.
xvi, 503 págs. : ilustraciones ; 25 cm.
ISBN: 047186109X (alk. paper)
Incluye referencias bibliográficas e índice.