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Thin films—Congresses.
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APA Citation International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices (2009). Dielectric thin films for future ULSI devices : science and technology, Tokyo, November 5-7, 2008. Tokyo : The Japan Society of Applied Physics. |
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MLA Citation International Workshop on Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices Dielectric thin films for future ULSI devices : science and technology, Tokyo, November 5-7, 2008. Tokyo : The Japan Society of Applied Physics, 2009. |
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