Título/responsables | Handbook of sputter deposition technology : principles, technology, and applications / by Kiyotaka Wasa and Shigeru Hayakawa. |
Publicación |
Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications, ©1992. |
Detalles físicos |
xii, 304 págs. : ilustraciones ; 24 cm. |
Colección | Materials science and process technology series
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Notas |
- Incluye referencias bibliográficas e índice.
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ISBN |
0815512805 |
Temas |
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Nombres |
Wasa, Kiyotaka. Hayakawa, Shigeru, 1925- |
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