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Título/responsablesFundamentals of nanoscale film analysis / Terry L. Alford, Leonard C. Feldman and James W. Mayer.
Publicación New York, N.Y. ; London : Springer, ©2007.
Detalles físicos xiv, 336 págs. : ilustraciones ; 25 cm.
Notas
  • Incluye referencias bibliográficas e índice.
Resumen From materials science to integrated circuit development, much of modern technology is moving from the microscale toward the nanoscale. This book focuses on the fundamental physics underlying innovative techniques for analyzing surfaces and near-surfaces. New analytical techniques have emerged to meet these technological requirements, all based on a few processes that govern the interactions of particles and radiation with matter. This book addresses the fundamentals and application of these processes, from thin films to field effect transistors.
ISBN 9781441939807; 978038729261 (e-book); 0387292616 (e-book); 9780387292601
Temas
Nombres Alford, Terry L.
Feldman, Leonard C.
Mayer, James W.
  
UBICACION
539.23 Al287
539.23 Al287
 
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Registro 018390  ·  Modificado: 20/09/2022

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