Catálogo Bibliográfico
LDR | ·····ntm##22·····5a#4500 |
001 | 015709 |
005 | 20220913153756.0 |
008 | 090219s1991####ne#####f#bm###001#0#eng#d |
245 | 10 | $a Ion bombardment and ion-assisted etching in rf discharges / $c Albert Manenschijn. |
260 | ## | $c 1991. |
300 | ## | $a 147 p. : $b il., gráficos ; $c 24 cm. |
502 | ## | $a Tesis (doctorado, Ingeniería)--Technische Universiteit van Delft, 1991. |
504 | ## | $a Incluye referencias bibliográficas. |
500 | ## | $a Director de tesis: Sijbrand Radelaar. |
500 | ## | $a Incluye índice. |
100 | 1# | $a Manenschijn, Albert. $4 dis |
710 | 2# | $a Technische Universiteit van Delft $4 dgg. |
700 | 1# | $a Radelaar, Sijbrand. $4 ths |
650 | #7 | $a Ion collisions $v Theses. $2 inist |
650 | #7 | $a Colisiones ionicas $v Tesis. $2 inist |
040 | ## | $a arbccab $b spa |