Introduction to microelectromechanical systems engineering
Nadim Maluf, Kirt Williams.
2nd ed.
Boston : Artech House, 2004.
xx, 283 págs. : ilustraciones ; 26 cm.
Serie: Microelectromechanical systems series
ISBN: 1580535909 (alk. paper)
Incluye referencias bibliográficas e índice.