Título/responsables | Ion implantation technology : proceedings of the Sixth International Conference on Ion Implantation Technology, University of California, Berkeley, CA, USA, July 28-August 1, 1986 / editors, M.I. Current ... [et al.]. |
Publicación |
Amsterdam : North-Holland, 1987. |
Detalles físicos |
xiv págs., págs. 83-653 : ilustraciones ; 27 cm. |
Colección | Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, ISSN 0168-583X ; v. B21, nos. 2-4 (Mar. 1987)
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Notas |
- Incluye indices.
- Incluye referencias bibliográficas.
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Temas |
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Nombres |
Current, Michael I. |
Reunión |
International Conference on Ion Implantation Technology (6th : 1986 : University of California, Berkeley) |
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NUCL. INSTRUM. METH. PHYS. RES. B 1987 |
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