Título/responsables | Ion implantation technology : proceedings of the Seventh International Conference on Ion Implantation Technology, Kyoto, Japan, June 7-10, 1988 / edited under the responsibility of T. Takagi ... [et al.]. |
Publicación |
Amsterdam : North-Holland, 1989. |
Detalles físicos |
xxiv, 994 págs. : ilustraciones ; 27 cm. |
Colección | Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, ISSN 0168-583X ; v. B37/38 (Feb. 1989)
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Notas |
- Incluye índice.
- Incluye referencias bibliográficas.
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Temas |
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Nombres |
Takagi, Toshinori. |
Reunión |
International Conference on Ion Implantation Technology (7th : 1988 : Kyoto, Japan) |
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NUCL. INSTRUM. METH. PHYS. RES. B 1989 |
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