Ion implantation technology-92 : proceedings of the Ninth International Conference on Ion Implantation Technology, Gainesvile, FL, USA, September 20-24, 1992

editors, D.F. Downey ... [et al.].

Amsterdam ; New York : North-Holland, 1993.

xvii, 697 págs. : ilustraciones ; 27 cm.

Serie: Nuclear instruments and Methods in Physics Research. B ; v. 74, nos. 1-2 (1993)

ISBN: 0444899944 (acid-free paper)

Incluye índice.

Incluye referencias bibliográficas.