Título/responsables | Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor. |
Publicación |
Bellingham, Wash., USA : SPIE Optical Engineering Press, ©1997. |
Detalles físicos |
2 vols. : ilustraciones ; 26 cm. |
Colección | IEE materials and devices series ; 12A-12B
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Notas |
- Incluye referencias bibliográficas e índice.
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Contenido |
- v. 1. Microlithography
- v. 2. Micromachining and microfabrication.
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ISBN |
0819423785 (v. 1) |
Temas |
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Nombres |
Rai-Choudhury, P.
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