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Título/responsables	Semiconductors materials analysis and fabrication process control : Proceedings of Symposium D on Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials Analysis and Fabrication Process Control of the 1992 E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, June 2-5, 1992 / edited by G. M. Crean, R. Stuck and J. A. Woollam.
Publicación	Amsterdam, Netherlands : North-Holland, 1993.
Detalles físicos	xiv, 338 págs. : ilustraciones ; 26 cm.
Colección	Applied Surface Science 1993, ISSN 0169-4332 ; v. 63, no. 1-4
Notas	En cubierta: Complete Volume. "This volume, 'Semiconductors materials analysis and fabrication process control' contains the proceedings of Symposium D of the Spring Meeting of the European Materials Reseach Society, held in Strasbourg, France, from 2-5 june 1992, concurrently with the International Conference on Electronic Materials."—pref. Incluye referencias bibliográficas e índice.
Temas	Semiconductor materials. Technology—Congresses. Materials testing. Ensayo de materiales. Congresos. Materiales semiconductores.
Nombres	Crean, G. M. Stuck, R. Woollam, J. A.
Entidades	European Materials Reseach Society. Spring Meeting (1992 : Strasbourg, France)
Reunión	Symposium D on Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials Analysis and Fabrication Process Control (1992 : Strasbourg, France)

UBICACION
APPL. SURF. SCI. 1993

Registro 013385 · Modificado: 07/02/2007

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