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Título/responsablesSistema de fabricación de nano-estructuras basado en MEMS / Pablo Guillermo del Corro.
Publicación 2017.
Detalles físicos ix, 97 págs. : ilustraciones, figuras ; 30 cm.
Notas
  • Tesis (doctorado, Ciencias de la Ingeniería)—Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro, 2017.
  • Director de tesis: Hernán Pastoriza.
  • Incluye referencias bibliográficas (p. 91-96).
Temas
  • Micro-electromechanical systems.
  • Comb drives.
  • Nano-fabrication.
  • Capacitive sensing.
  • Dynamics stencil.
  • Thermal evaporation.
  • Sistemas micro-electromecanicos.
  • Nano-fabricación.
  • Sensado capacitivo.
  • Esténcil dinámico.
  • Evaporación térmica.
Nombres Corro, Pablo Guillermo del.
Pastoriza, Hernán.
Entidades Universidad Nacional de Cuyo. Instituto Balseiro
  
UBICACION
T. (043)620 2017 C817
 
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Registro 018992  ·  Modificado: 19/02/2021

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